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勻膠機(jī)

更新時(shí)間:2018-09-29點(diǎn)擊次數(shù):2152

勻膠機(jī) 型號(hào):AC200-SE

此款勻膠機(jī)共有兩種型號(hào):AC200-SE是標(biāo)準(zhǔn)型號(hào),AC200-PE是型號(hào);AC200精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,這是一種程控伺服型精密勻膠機(jī),可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬(wàn)美元設(shè)備上才能達(dá)到的穩(wěn)定性和均勻性。這款設(shè)備采用了不銹鋼外殼,更加耐久和美觀;采用了工業(yè)級(jí)別的200W的伺服電機(jī)系統(tǒng)和與track設(shè)備相同的設(shè)計(jì)和程序,使工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義;AC200在同類(lèi)產(chǎn)品中**的較先達(dá)到5000RPM/s的旋轉(zhuǎn)加速度,確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和高的可重復(fù)性。

 

主要性能指標(biāo)

1:主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)

2:內(nèi)腔采用易清潔、耐腐蝕的高分子材料(HDPE

3:旋涂程序:多可存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可到0.1

4:旋涂速度:0-10000rpm

5:旋涂加速度:0-50000rpm/s

6:馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差:<±1rpmTN-AC200-SE);<±0.1rpmTN-AC200-PE)

7:轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度及重復(fù)性:1rpmTN-AC200-SE);0.1rpmTN-AC200-PE)

8AC200-PE另帶真空數(shù)字顯示、開(kāi)關(guān)壓力調(diào)節(jié)和電子水平顯示功能

9:工藝時(shí)間設(shè)定:0-3000sec/step,時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec

10:支持wafer尺寸:碎片至200mm8''圓晶)

11:旋涂作業(yè)均勻性:<±3%6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米測(cè)量)

 

產(chǎn)品特性?xún)?yōu)點(diǎn)

1:**的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小了設(shè)備的尺寸

2: 采用7英寸觸摸屏控制面板,操作更加便捷

3:采用密閉碗設(shè)計(jì),可以適應(yīng)各種材料的勻膠工藝。

4:標(biāo)準(zhǔn)配置的轉(zhuǎn)速為10000rpm,可以根據(jù)用戶(hù)需要進(jìn)行定制

5:采用工業(yè)級(jí)的伺服電機(jī),電機(jī)*的設(shè)計(jì)可以避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部

6:機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。

7:排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位于載片臺(tái)的底部

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